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芯片表面清洁度测试的标准和原理主要包括以下内容：

标准：芯片表面清洁度测试的标准主要包括国际标准和行业标准。例如，国际半导体技术路线图（ITRS）中规定了芯片表面粒子的尺寸和数量等指标;行业标准如SEMI SPM（Surface Particle Measurement）等。

原理：芯片表面清洁度测试的原理主要是通过对芯片表面粒子的计数和分类来评估芯片表面的清洁度。常用的测试方法包括激光散射、原子力显微镜、扫描电子显微镜等。

在激光散射测试中，将激光照射在芯片表面，通过测量粒子对激光的散射来评估表面粒子的数量和尺寸。在原子力显微镜测试中，通过扫描芯片表面，通过探针和芯片表面之间的相互作用力来确定表面的粒子形态和数量。在扫描电子显微镜测试中，通过电子束扫描芯片表面，通过测量电子与样品表面反射的信号来确定表面粒子的尺寸和分布。

以上是常见的芯片表面清洁度测试标准和原理，具体测试方法和参数设置需要根据具体的应用需求进行选择和优化。